Met de ontwikkeling van computer-micro-elektronica en informatietechnologie werd de snelle ontwikkeling van de elektronische maakindustrie bevorderd, maar ook de ontwikkeling van clean room-technologie. Tegelijkertijd worden hogere eisen gesteld aan het ontwerp van een cleanroom, om het defecte tarief te verminderen en de productie-efficiëntie van de elektronische industrie te verbeteren, het stofvrije werkplaatsontwerp is zeer uitgebreid.
Elektronica productie cleanroom kenmerken:
Hoge reinheid is vereist, luchtvolume, temperatuur en luchtvochtigheid, drukverschil, apparatuuruitlaatregeling zoals vereist, bovendien zijn dit soort cleanroom-eisen voor statische elektriciteit extreem streng, en de vraag naar luchtvochtigheid is bijzonder hoog.。 Omdat te droge fabriek kamer is gemakkelijk om statische elektriciteit te produceren, wat resulteert in CMOS-integratieschade. In het algemeen moet de temperatuur van de elektronische fabriek worden geregeld op 22, de relatieve luchtvochtigheid zorgt ervoor dat mensen zich op hun gemak voelen. Chipworkshop, IC-cleanroom, schijffabriek zijn belangrijk onderdeel van cleanroom. Omdat elektronische producten in het productieproces, de eis aan binnenlucht milieu en kwaliteit is zeer streng. Het belangrijkste doel is om deeltjes en stof te beheersen. Op een gegeven moment zijn de temperatuur en luchtvochtigheid van de omgeving, het volume van de frisse lucht en het geluid strenge voorschriften geworden.
1, geluidsniveau in de elektronica-fabriek, tienduizend niveau schone ruimte (lege staat): niet meer dan 65B (A)
2, verticale flow clean room distributieratio mag niet minder zijn dan 60%, horizontale unidirectionele flow clanroom mag niet minder zijn dan 40%, anders wordt het lokale unidirectionele flow.
3, het statische drukverschil tussen schone ruimte en openlucht van elektronische fabrikant zou niet minder dan 10Pa moeten zijn. Het statische drukverschil tussen schone en niet-schone gebieden mag niet kleiner zijn dan 5 Pa
4 De hoeveelheid frisse lucht in een cleanroom van klasse 10 duizend is het maximum van de volgende twee items:
1> De luchtuitlaat van de compensatiekamer zette en handhaafde positieve binnendruk vereist totale hoeveelheid verse lucht;
2> Zorg ervoor dat de toevoer van verse lucht per persoon in een schone ruimte niet minder is dan 40 per uur
Clean room HVAC-systeemverwarming in de elektronische maakindustrie, frisse lucht moet worden verstrekt, uitschakelbeveiliging voor te hoge temperatuur. Als het gebruik van puntbevochtiging geen waterbescherming moet worden ingesteld, moet het frisse luchtsysteem in koude gebieden worden voorzien van antivriesbeschermingsmaatregelen. Het luchttoevoervolume van de schone ruimte moet de volgende drie bedragen in de elektronische fabrikant. Afhankelijk van de warmte- en vochtigheidsbelasting om de luchttoevoer van de cleanroom en de hoeveelheid verse luchttoevoer te berekenen en te bepalen.
